Mechanical
Booster Pump Àû¿ëÀ¸·Î ÀÎÇÏ¿©
¿øÇÏ´Â Áø°øµµ¿¡ ºü¸£°Ô
µµ´ÞÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. Áø°øµµ¸¦
Vacuum Gauge ¸¦ ÅëÇÏ¿© ÇÑ´«À¸·Î
üũÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. Á¦Ç°ÀÇ
Áø°ø »óŸ¦ ÀÚµ¿À¸·Î Á¦¾îÇÏ¿©
¼Õ½¬¿î ÀÛ¾÷À» ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¿¡¾îÄÜ/³ÃÀå°í
Line¿¡ ÁÖ·Î »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù
ºü¸¥
»ý»ê¼Óµµ¿¡ À¯¸®ÇÑ High Vacuum
SystemÀÌ´Ù.
|